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1、百级无尘车间0.5微米的最大允许粒子浓度小于3520(pc/m3),5微米的最大允许粒子浓度小于293(pc/m3)。
2、千级无尘车间0.5微米的最大允许粒子浓度小于35200(pc/m3),5微米的最大允许粒子浓度小于2930(pc/m3)。
3、万级无尘车间0.5微米的最大允许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的最大允许粒子浓度小于29300(pc/m3)。
4、十万级无尘车间0.5微米的最大允许粒子浓度小于3520000(pc/m3),微米的最大允许粒子浓度小于293000(pc/m3)。

 

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